真空蒸鍍工藝實(shí)例以塑料金屬化為例，真空蒸鍍工藝包括：鍍前處理、鍍膜及后處理。真空蒸鍍的基本工藝過(guò)程如下：(1)鍍前處理，包括清洗鍍件和預處理。具體清洗方法有清洗劑清洗、化學(xué)溶劑清洗、超聲波清洗和離子轟擊清洗等。具體預處理有除靜電，涂底漆等。(2)裝爐，包括真空室清理及鍍件掛具的清洗，蒸發(fā)源安裝、調試、鍍件褂卡。(3)抽真空，一般先粗抽至6．6Pa以上，更早打開(kāi)擴散泵的前級維持真空泵，加熱擴散泵，待預熱足夠后，打開(kāi)高閥，用擴散泵抽至6×10-3Pa半底真空度。 次數用完API KEY 超過(guò)次數限制

在室溫(25℃)和氣體壓力為p(Pa)的條件下，殘余氣體分子的平均自由程為λ=6.65×10-1/pcm(2)由上式計算可知，在室溫下，p=10-2Pa時(shí)，鍍鈦選哪家，λ=66.5cm，即一個(gè)分子在與其它分子發(fā)生兩次碰撞之間約飛行66.5cm。碰撞圖2是蒸發(fā)粒子在飛向基片途中發(fā)生碰撞的比例與氣體分子的實(shí)際路程對平均自由程之比值的曲線(xiàn)。從圖中可以看出，當λ=L時(shí)，有63%的蒸發(fā)分子會(huì )發(fā)生碰撞。如果平均自由程增加10倍，則散射的粒子數減少到9%，因此，家具鍍鈦選哪家，蒸發(fā)粒子的平均自由程必須遠遠大于蒸距才能避免蒸發(fā)粒子在向基片遷移過(guò)程中與殘余氣體分子發(fā)生碰撞，從而有效地減少蒸發(fā)粒子的散射現象。目前常用的蒸發(fā)鍍膜機的蒸距均不大于50cm。 次數用完API KEY 超過(guò)次數限制

與CVD工藝相比，處理鍍鈦選哪家，PVD工藝處理溫度低，在600℃以下時(shí)對刀具材料的抗彎強度無(wú)影響；薄膜內部應力狀態(tài)為壓應力，更適于對硬質(zhì)合金精密復雜刀具的涂層；PVD工藝對環(huán)境無(wú)不利影響，符合現代綠色制造的發(fā)展方向。當前PVD涂層技術(shù)已普遍應用于硬質(zhì)合金立銑刀、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、鉸刀、絲錐、可轉位銑刀片、車(chē)刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理。PVD技術(shù)不僅提高了薄膜與刀具基體材料的結合強度，真空PVD鍍膜技術(shù)在壓鑄模具中的運用真空PVD鍍膜涂層表面摩擦系數小，經(jīng)過(guò)表面拋光的金屬材料的表面對鋼摩擦系數一般在0.9左右， 次數用完API KEY 超過(guò)次數限制